호리바에스텍코리아 | HORIBA STEC KOREA

회사명	호리바에스텍코리아
부스번호	C129
홈페이지	www.horiba.com
대표전화	031-8025-6500

기업소개

HORIBA는 반도체는 시장의 빠른 변화에 최근 제품 개발 주기가 점점 더 빨라지며 신속한 제품 개발은 기업의 경쟁력에도 영향을 미치게 되었습니다. 
또한 성공적인 신제품 개발의 중심에는 첨단 소재와 반도체의 사용으로 탄생한 신기술의 발전이 큰 역할을 하고 있습니다.
HORIBA는 유량 제어, 측정 및 분석 역량을 통해 연구자, 개발자, 장비 제조업체 및 최종 사용자가 세계적인 수요에 맞춘 새로운 솔루션을 개발할 수 있
도록 적극 지원합니다.

제품소개

1. Z700 Series(가스 유량 조절 기기)

HORIBA's Mass Flow Controller는 전후에 압력변동이 발생하더라도 안정된 유량제어 가능. 멀티 챔버의 가스 라인은, 압력변동에 따른 Mass 
Flow Controller의 크로스토크 현상이 발생하기 쉽기 때문에 라인 Regulator, 압력 Sensor, Filter 가 장착되어 있습니다. SEC-Z700 series는 압
력변동의 영향을 받지 않으며, 매우 안정된 유량제어를 실현하며, 온도, 압력의 출력 기능도 탑재 하고 있습니다.

2. Criterion D500(가스 유량 조절 기기)

Criterion D500는 Pressure Insensitive Mass Flow Module입니다.  본 제품은 차압 감지 및 Piezo actuator valve와 함께 장착됩니다. 
Criterion D500에서 제공하는 높은 수준의 성능은 압력에 민감하지 않고 다중 범위/다중 가스/다중 압력, G-LIFE(Integrated Flow Restrictator 
Equiation의 가스법 검사) 자가 진단 기능, 높은 정확도, 빠른 응답, 넓은 범위 및 모든 금속 등 다양한 고급 반도체 제조 공정에 사용할 수 있습니다.