일드엔지니어링시스템즈코리아 | YIELD ENGINEERING SYSTEMS KOREA

회사명	일드엔지니어링시스템즈코리아
부스번호	D125
홈페이지	www.yieldengineering.com
대표전화	031-723-0126

기업소개

일드엔지니어링시스템즈는 표면 및 재료 향상을 위한 첨단 기술의 비용 효율적인 장비를 제공하는 업체입니다. 제품으로는 열처리 시스켐, 화학 기상 증
착(CVD) 시스켐, 반도체 기판, 반도체 및 MEMS 장비, LED 디스플레이 및 바이오 장치의 정밀한 표면에 사용되는 습식 공정 장비가 포함되어 있습니
다. 신생 기업에서 포츈 100대 기업에 이르는 다양한 고객이 YES 시스템에 의존하여 다양한 시장에서 혁신적인 제품을 만들고 생산하고 있습니다. 
YES는 캘리포니아 프리몬드에 본사를 두고 있으면 전 세계적으로 사업을 확장하고 있습니다.

제품소개

1. VertaCure XP G2(반도체 공정 PI/PBO 오븐 장비)

대기압 장비와 비교해서 공정시간 단축
파티클 제거 능력
5배 이상 적은 Outgassing 능력
낮은 CoO

2. VeroTherm FAR equipment(반도체 공정 Reflow 장비)

Sub-55um (down to 12um) bump ptich, multi-substrate die stack까지 확장 가능한 reflow 성능. 저 진공 기술로 Wafer 및 die 위치에서 
high aspect ratio (>75% reflowed bump hight/diameter)를 위한 reflow기능, wafer기술로 포름산 (formic acid)사용을 최소화 하고 
wafer 표면 오염을 유발하는 chamber contamination 방지. 대류 N2 냉각 및 복사를 활용하여 열충격을 최소화하여 wafer 파손 방지