한국세라믹기술원 | KICET

회사명	한국세라믹기술원
부스번호	D147
홈페이지	www.kicet.re.kr
대표전화	055-792-2500

기업소개

세라믹 연구개발, 시험 분석 평가, 기술지원, 정책지원 등의 사업을 수행함으로써 세라믹 기술혁신과 산업진흥으로 국가발전 및 국민의 삶의 질 향상에 
기여하는 산업통상자원부 산하 정부출연기관입니다.

제품소개

1. KRK44F1-6339A / KRK64F1-258A

COMS/CCD 패키지
Ceramic소재의 CCD/CMOS Image Senser는 발진성이 적어서 Image senser용의 PKG에 적합하며, Cavity구조의 구성이 쉬워 소형 및 박막형
으로 제작이 용이 하다.

2. 세라믹 정전척, 히터

정전척은 반도체 식각(Etching) 공정 장비에 장착되어 Wafer를 정전력으로 고정시키고 온도를 제어하는 기능성 부품입니다. 산화알루미늄(Al2O3) 
세라믹 소재를 사용하여 뛰어난 내 식성과 높은 절연 내력, 우수한 기계적 강도를 갖는 특성이 있습니다.
히터는 반도체 증착(Deposition) 공정 장비에 장착되어 Wafer에 열을 균일하게 가해주는 기능성부품으로, 질화알루미늄(AlN) 세라믹 소재를 사용
하여 뛰어난 내열 특성과 높은 열전도도, 우수한 절연 특성을 갖는 특성이 있습니다.