한백정밀 | HANBAEK PRECISION CORPORATION

회사명	한백정밀
부스번호	H106
홈페이지	ehanbaek.com
대표전화	031-508-1796

기업소개

2017년 설립된 한백정공은 무엇보다 고객 만족을 최우선으로 생각합니다. 고품질 반도체 웨이퍼 진공 척, 다공성 척, 유량계 및 정밀 부품을 
비롯한 디스플레이용 ESC 척을 전문적으로 제조하고 있습니다.

제품소개

1. 반도체 웨이퍼 진공 척(HBC)

⊙크기 : 6”, 8”, 12”
⊙소재 : AL6061, SUS304, SUS316, Beryllium, Copper, 무산소 동, Beryllium Copper
⊙브레이징 : 2floor, 3floor, 4floor

반도체 웨이퍼 진공 척
한백의 반도체 웨이퍼 진공 척은 반도체 제조 장비의 핵심 부품으로, 다양한 제조 공정에서 웨이퍼의 평탄도와 평행성을 보장하면서 웨이퍼
를 제자리에 안전하게 고정하도록 설계되었습니다. 당사의 진공 척은 무산소 고전도성 구리(OFHC), 알루미늄 및 SUS 소재에 대해 3μm 이하
의 평탄도 허용 오차를 유지합니다. 6인치, 8인치, 12인치 크기의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 또한 고급 처리 기술과의 호환성을 보장하기 
위해 2 층, 3 층 및 4 층 구성에 대한 브레이징 옵션을 제공합니다.

2. 반도체 포러스 척(HBCP)

⊙ Size: 370 * 370 *6T, 550 * 550 * 7T 
⊙ Material:
*Physical Property - Si02 . Al203 etc 
*Body base - Aluminum, Ceramic   
⊙ Color: Black(B)
⊙ Pore Size: 25µm

한백의 반도체 다공성 척은 리소그래피, 에칭, 화학 기상 증착(CVD) 및 기타 반도체 제조 단계와 같은 공정에서 필수적입니다. 웨이퍼를 안전
하고 효과적으로 고정하여 정밀한 제조를 가능하게 합니다.