피닉스 | PHOENIX CO., LTD.

회사명	피닉스
부스번호	J112
홈페이지	www.phoenixeq.kr/
대표전화	031-531-5330

기업소개

반도체 및 범용 반도체에서 사용되는 모듈, 마이크로 스케일 및 나노 정밀도를 갖는 정밀 모션 워크 스테이지 설계 및 개발을 제공합니다. 우
리는 고객에게 고품질의 서비스를 제공하고 맞춤형 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

제품소개

1. 정밀 모션 플랫폼 - 웨이퍼 감지 모듈(Etable)

정말 변위 플랫폼은 웨이퍼 감지, 처리 및 기타 관련 분야에 적합합니다.
상부 흡착판은 12" 및 8" 웨이퍼 흡착과 호환 가능하며, 이 모듈에는 2개의 자유도 변위와 3개의 변위 기능이 포함됩니다. 회전축은 흡착 후 
웨이퍼의 회전 변위를 실현 할 수 있습니다. Z축에 중첩된 PIN축으로 웨이퍼의 자동 로딩 및 언로딩 기능을 구현합니다.

2. 정밀 모션 플랫폼 - ZTT 조정 모듈

주로 반도체 장비에 사용되는 이 모듈은 3축 병렬 구조이며, 3개의 Z방향 모터가 정삼각형으로 배열되어 있습니다. 3개의 모터가 함께 움직
일 때 수직Z 변위가 제공됩니다. 3개의 모터 중 2개는 같은 방향으로 움직이고 다른 모터는 반대 방향으로 움직여 RX와 RY의 두 가지 각도로 
조절할 수 있습니다. 이 메커니즘은 반도체 웨이퍼의 자세와 초점을 조정하는 데 적합합니다.