토모큐브 | TOMOCUBE

회사명	토모큐브
부스번호	J114
홈페이지	www.tomocube.com
대표전화	042-863-1100

기업소개

(주)토모큐브는 시료의 3차원 내부 구조를 이미징할 수 있는 광학기술인 Holotomography (HT) 기술 전문 기업입니다. 최고의 기술력으로 생
명 공학 분야에서 인정을 받고 있는 투과형 HT 기술과 세계 최초로 개발한 반사형 HT 기술을 이용하여 Glass substrate 및 Hybrid bonding 
등을 위한 비파괴 검계측 솔루션을 제공합니다.

제품소개

1. 글래스 기판 3D 스캐너(HT-T1)

Glass 를 파손하지 않고 3차원 검계측
- TGV (Through Glass Via) 내벽의 조도 측정
- 글래스 내부 미세 크랙 검사
- Laser modulation 에 의한 글래스 변형 정도 검사
- 적용 분야 : Glass substrate, Carrier Glass, XR/AR Glasses, UTG Cutting

2. 글래스 기판 3D 스캐너(HT-T1)

Glass 를 파손하지 않고 3차원 검계측
- TGV (Through Glass Via) 내벽의 조도 측정
- 글래스 내부 미세 크랙 검사
- Laser modulation 에 의한 글래스 변형 정도 검사
- 적용 분야 : Glass substrate, Carrier Glass, XR/AR Glasses, UTG Cutting

3. 반도체 검계측 3D 스캐너(HT-R1)

반도체/디스플레이를 파손하지 않고 3차원 이미징
- Hybrid bonding 구조에서 SiO2 / Cu 표면 조도 동시 측정
- 투명 층 (SiO2, PI, Build-up Film 등)의 하부 구조 3차원 검계측
- 투명 층의 두께 측정 및 불투명 층의 단차 측정
- 적용 분야 : Hybrid bonding, OLED, MicroLED, Build-up Film

4. 반도체 검계측 3D 스캐너(HT-R1)

반도체/디스플레이를 파손하지 않고 3차원 이미징
- Hybrid bonding 구조에서 SiO2 / Cu 표면 조도 동시 측정
- 투명 층 (SiO2, PI, Build-up Film 등)의 하부 구조 3차원 검계측
- 투명 층의 두께 측정 및 불투명 층의 단차 측정
- 적용 분야 : Hybrid bonding, OLED, MicroLED, Build-up Film