이큐테크플러스 | EQ TECH PLUS

회사명	이큐테크플러스
부스번호	F106
홈페이지	www.eqtechplus.com
대표전화	031-5182-8060

기업소개

EQ Tech Plus는 반도체 증착 전문회사입니다.
반도체 증착에 관한 전문가 그룹의 현장 경험과 과감한 R&D 투자로 다양한 막종에 특화된 증착기술, 증착장비 핵심 모듈 제작 기술과 노하
우를 적용한 뛰어난 성능의 증착장비를 제작하는 반도체 소재, 부품, 장비 전문기업입니다.

제품소개

1. 증착웨이퍼

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2. 반도체 증착장비(EQRO-6T12-5PA)

멀티 프로세스 & 멀티 웨이퍼 로딩
박막 및 계면 특성을 현저하게 개선하여 고객의 성능 향상에 기여합니다.
하나의 시스템으로 다양한 공정 대응이 가능하며, 100mm에서 300mm까지 여러 웨이퍼의 로딩이 가능합니다