브이에이디 인스트루먼트 | VAD INSTRUMENT

회사명	브이에이디 인스트루먼트
부스번호	E103
홈페이지	www.vadi.co.kr
대표전화	031-768-6581

기업소개

㈜브이에이디인스트루먼트는 2015년 설립되어 반도체 및 FPD 관련 공정, 제조용 정밀 모션 스테이지를 관련 시장에
최고의 품질로 공급하고 있습니다.
VAD는 중소기업이지만 고객에게 최고 가치 및 서비스를 제공하고자 식지 않는 열정으로 기술개발에 회사의 모든 역
량을 집중하고 있습니다. 세계시장에서 경쟁할 수 있는 기술력과 차별화된 품질경쟁력을 갖춘 스테이지 및 부품 공급
자로 노력하고 있습니다.

제품소개

1. XYT+Z 스테이지 (웨이퍼 검사기)

* 본 설비은 반도체 공정에서 필요한 초정밀 스테이지(Stage) 제작에 대한 다양한 현장 경험을 토대로,
반도체 공정장비에 스테이지(Stage)를 제작하여 납품하고 있으며, 반도체 시장 수요가 지속적으로 증가
하는 상황에서, 뛰어난 위치정밀도로 하이엔드에서 활약하고 있는 당사 제품의 시장성은 매우 높다고
볼 수 있습니다.
* Spec
- Straightness : ±1.0um ~ ±3.0um
- Flatness : ±3.0um ~ ±5.0um
- In-position stability : ±10 nm ~ ±50 nm
- Repeatability : ±0.15um ~ ±0.3um
- Controller : ACS MC4U / ACS NPMpm
- Isolator : Passive Isolator / Active Isolator