한국나노기술원 | KOREA ADVANCED NANO FAB CENTER

회사명	한국나노기술원
부스번호	E124
홈페이지	www.kanc.re.kr
대표전화	031-546-6521

기업소개

한국나노기술원은 과학기술정보통신부가 시행하는 국가핵심연구기반구축사업의 일환으로 나노소자기술분야에서 원천기술의 연구개발 및 
조기산업화를 지원할 수 있는 장비와 시설을 구축하여 운영하고 있습니다. 기술원은 국내 산ㆍ학ㆍ연의 공동 활용이 가능한 화합물 반도체 
중심 비실리콘계 나노소자 분야에 특화된 Fab 시설을 구축하여 일괄 공정 및 연구실에서 개발된 소자의 제작 서비스 및 특성 분석  평가서
비스를 제공하고 있으며 차세대 나노소자 및 반도체 분야 연구개발 지원 확대로 나노기술 산업 발전 및 사회적 가치 실현을 위해 최선을 다
할 것입니다.

제품소개

1. 첨단패키지 선행공정 기술개발 사업(과제)

"• 과제명 : 200 mm Cu BEOL 기반 이종집적용 첨단패키지 선행공정 기술개발
• 과제기간 : 2023년 05월~2027년 12월
• 주관기관 : 한국나노기술원 / 박경호 책임 (차세대패키지 TF)
• 참여연구기관 : 인하대 (최리노교수), 포항공대 (송재용교수), 서울과기대 (좌성훈교수),
고려대 (유현용교수), 성균관대 (차승남교수), 세종대 (김홍균교수)
기대효과 및"