씨엔원 | CN1

회사명	씨엔원
부스번호	G102
홈페이지	www.cn-1.co.kr
대표전화	070-4651-5331

기업소개

㈜씨엔원은 원자층박막증착(Atomic Layer Deposition/이하 ALD)장비를 생산하는 반도체 및 첨단 장비 전문 제조업체이다. ㈜씨엔원은 더 많
은 기술 개발을 이뤄내고자 창업 이래 조직 전체가 꾸준한 기술 혁신을 도모하며 제품 개발에 임하고 있으며 국내외 대학 및 기업연구소를 
통해 제품의 우수성을 인정받으며 활발한 판매 활동이 진행되고 있다.

제품소개

1. 원자층박막증착(Atomic Layer Deposition/이하 ALD)장비(Atmoic Premium)

- Substrate Size：4 ~ 12” Standard (Wafer)
- Thermal ALD Process (Plasma Process Available)
- Chamber Material : Al6061 with Anodized
- Gap Adjustable between Showerhead and Substrate
- Gas Delivery system : Bubbler, LDS etc.
- Max Temperature : 500℃ (@ Wafer)
- No. of Precursor Canisters：Up to 4 Sets (Standard)