아미텍코리아 | AMETEK KOREA

회사명	아미텍코리아
부스번호	G112
홈페이지	www.ametek.co.kr/
대표전화	031-888-5225

기업소개

AMETEK의 자회사인 Zygo는 광학 프로파일러와 레이저 간섭계를 활용한 정밀 분석 솔루션을 제공합니다. Zygo의 솔루션은 서브나노미터급 
정밀도와 뛰어난 측정 반복성을 바탕으로 표면 거칠기, 형상, 그리고 박막 두께까지 정확하게 측정할 수 있습니다. 이러한 기술력으로 Zygo는 
후공정 웨이퍼 분석에 최적화된 솔루션을 제공합니다.

제품소개

1. 광학프로파일러(Nexview NX2)

NX2는 백색광 간섭 기술을 기반으로 하여, 국소 영역에서 표면 형상, 거칠기, 결합 상태, 그리고 박막 두께를 3차원으로 정밀하게 측정합니다. 
이를 통해 웨이퍼 표면 상태를 서브나노미터급의 정밀도로 동시에 정량화하여 평가할 수 있습니다.

2. 레이저간섭계(Verifire)

레이저 간섭계는 300mm 웨이퍼의 표면 평탄도와 휨 정도를 한 번에 정량화하고 시각화할 수 있는 장비입니다. 이 장비는 서브나노미터급의 
정밀도와 뛰어난 반복성을 제공합니다.