나노시스템 | NANOSYSTEM

회사명	나노시스템
부스번호	C114
홈페이지	www.nanosystemz.com
대표전화	042-717-2400

기업소개

측정, 검사 분야의 세계적인 Leading Company. 나노시스템의 반도체, 어드밴스드 패키징, 디스플레이 등 IT 다양한 산업군에서 미세 형상, 거칠기 측정 등
에 사용되는 초정밀 광학솔루션은 제조 현장의 품질 관리, 수율 향상, R&D에 기여하고 있습니다.

제품소개

1. NSW-300 Series(반도체 후공정 3차원 측정 시스템)

웨이퍼 좌표 기반의 Recipe 생성 및 Wafer Mapping
고속, 고정도의 3차원 측정
다양한 웨이퍼 사이즈 대응
RDL, UBM, Bump, Film thickness 등 필수 측정솔루션 제공
다양한 측정 니즈에 만족하기 위한 측정 모듈 구성 능력
SEMI 규격에 만족하는 완전 자동화 시스템 구성

2. NSF-Series(반도체 패키징 기판 3차원 측정 시스템)

기판의 패턴/형상에 대한 수백 개의 파라미터 출력
빠른 측정속도 및 높은 정확도
직관적이고 간편한 사용자 친화적 GUI
반복 정밀도 : 0.5% 이내
Fine Pitch 측정 가능(2/2um)
Recipe를 이용한 자동 측정 시스템