일드엔지니어링시스템즈 | YIELD ENGINEERING SYSTEMS

회사명	일드엔지니어링시스템즈
부스번호	I114
홈페이지	www.yes.tech
대표전화	031-723-0126

기업소개

일드엔지니어링시스템즈는 표면 및 재료 향상을 위한 첨단 기술의 비용 효율적인 장비를 제공하는 업체입니다.제품으로는 열처리 시스켐, 화학 기상 증착
(CVD) 시스켐, 반도체 기판, 반도체 및 MEMS 장비, LED 디스플레이 및 바이오 장치의 정밀한 표면에 사용되는 습식 공정 장비가 포함되어 있습니다. 신생 기
업에서 포츈 100대 기업에 이르는 다양한 고객이 YES 시스템에 의존하여 다양한 시장에서 혁신적인 제품을 만들고 생산하고 있습니다. YES는 캘리포니아 
프리몬드에 본사를 두고 있으면 전 세계적으로 사업을 확장하고 있습니다.

제품소개

1. VertaCure XP G2(반도체 공정 PI/PBO 오븐 장비)

대기압 장비와 비교해서 공정시간 단축
파티클 제거 능력
5배 이상 적은 Outgassing 능력
낮은 CoO

2. VeroTherm FAR equipment(반도체 공정 Reflow 장비)

Sub-55um (down to 12um) bump ptich, multi-substrate die stack까지 확장 가능한 reflow 성능. 저 진공 기술로 Wafer 및 die 위치에서 high 
aspect ratio (>75% reflowed bump hight/diameter)를 위한 reflow기능, wafer기술로 포름산 (formic acid)사용을 최소화 하고 wafer 표면 오염을 
유발하는 chamber contamination 방지. 대류 N2 냉각 및 복사를 활용하여 열충격을 최소화하여 wafer 파손 방지