케이씨텍 | KCTECH

회사명	케이씨텍
부스번호	F102
홈페이지	www.kctech.co.kr/
대표전화	031-670-8000

기업소개

케이씨텍은 CMP 장비와 Slurry 소재를 전문으로 개발·제조하는 첨단 반도체·디스플레이 기술 기업입니다. 2017년 11월 분사를 통해 설립된 KCTECH는 
끊임없는 혁신과 헌신적인 R&D로 고객 맞춤형 솔루션과 차별화된 품질을 제공하며, 가치를 창출하는 가장 신뢰할 수 있는 글로벌 기술 파트너가 되는 것을 
목표로 합니다.

제품소개

1. VD / VS(화학적 기계적 평탄화 장비)

1. 생산성 30% ↑
빠른 웨이퍼 이송(터렛, 로봇)
1~4단계 유연한 연마 챔버 구성 가능
유휴 시간 30% ↓

2. 결함 제어 극대화
클리너 6개 챔버(유연한 운용)
플래튼 분리 → 오염 방지

2. Si Slurry, TSV Reaveal SLurry, Cu CMP Slurry, Ti CMP Slurry, BF, PID,EMC CMP Slurry

1. HBM CMP Slurry 
  Si Thinning용 고연마 Slurry
     Silica Based Slurry,  RR >1.5um/min,Ra <0.5nm
 2.  TSV Reveal CMP 슬러리
     Silica Based Slurry , Oxide RR >3,000Å/min
     SiN & Cu & Ta/TaN Tunable
3. Hybrid Bonding CMP Slurry
    High Oxide Removal Rate & SiCN Stop Performance Slurry
    Silica Based Slurry , Oxide RR >3,000Å/min
     SiCN Stop, Cu & Ta/TaN Tunable
   RDL (Redistribution Layer) Slurry
    Ceria Based Slurry, Oxide RR >1um/min