레이스아시아리미티드 | RAITH ASIA LIMITED

회사명	레이스아시아리미티드
부스번호	B106
홈페이지	www.raith.com
대표전화	010-3200-3645

기업소개

RAITH는 Mask를 사용하지 않고 나노 제조 및 특성 분석에서 글로벌 기술 선도 기업입니다. 고정밀 제작 및 이미징의 독창적인 조합을 통해 연구 및 산업을 
위한 효율인 솔루션을 제공합니다. 장비는 전자빔을 이용한 리소그래피를 할 수 있는 EBL (Electron Beam Lithography) 장비와 레이저 (Laser Beam 
Lithography)를 이용해 리소그래피를할수 있는 LBL장비가 있습니다.

제품소개

1. EBPG5150, EBPG5200, Voyager(전자빔 리소그래피(EBL) 시스템)

VOYAGER는 안정적인 고성능 장비로 사용 편의성을 뛰어난 EBL 시스템으로, 학계 및 산업계 모두에 적용할 수 있는 장비입니다. 스마트한 기능과 혁신적인 
구조를 갖춘 완전 자동화된 초인체공학적 설계는 최단 시간 내에 결과를 도출할 수 있도록 보장합니다. 또한, 환경 친화적인 쉴드가 포함되어 있어 열악한 실
험실 환경에서도 시스템 안정성을 보장하여 신뢰성과 사용성을 더욱 향상시킵니다. 50kV Electron Beam을 사용하면서 고해상도와 높은 처리량을 구현합
니다.

2. PICOMASTER100, PICOMASTER 150, PICOMASTER XF200(레이저 리소그래피 시스템)

PICOMASTER 시리즈는 고정밀 마스크업는 리소그래피 작업을 위해 설계된 고급 레이저 리소그래피 장비입니다. 다양한 기판 크기에 적합한 이 시스템은 연
구 및 프로토타입 제작에 최적화되어 있습니다. 탁월한 해상도와 조절 가능한 기록 속도를 통해 고급 리소그래피 기술의 보유하고 있습니다.