비엔에스알 | BNSR

회사명	비엔에스알
부스번호	E106
홈페이지	www.bnsr.co.kr
대표전화	070-8648-1922

기업소개

 신규장비 셋업, 공정 레시피 최적화, 에칭 장비의 정밀 검증에 있어 SOW는 공정의 정확도와 신뢰성을 보장하기 위한 핵심 장비입니다. BNSR의 SOW는 고
온, 극저온, 플라즈마 환경등의 조건에서도 우수한 내구성과 정확도를 유지하며 공정중 실시간으로 온도 데이터를 수집하고 시각화 할 수 있는 측정 시스템입
니다.

제품소개

1. 쏘우(SOW)+스테이션(STATION)

BNSR의 SOW는 실제 웨이퍼와 같은 모양을 하고 있으며 73개의 온도 센서, RF Module 전기회로, 회로 동작 및 데이터 저장을 위한 이차전지를 포함하고 
있으며 STATION은 SOW와의 무선 데이터 송수신 및 무선 충전기능을 가지고 있다.

2. FOUP(풉)&UI

BNSR의 FOUP은 SOW의 안전한 보관 및 자동 운반을 지원하며, UI는 온도 측정 데이터를 실시간 시각화하고 분석할 수 있는 전용 소프트웨어로 구성되어 
사용자의 공정 평가 효율을 높여줍니다.