나노종합기술원 | NATIONAL NANOFAB CENTER

회사명	나노종합기술원
부스번호	B114
홈페이지	www.nnfc.re.kr
대표전화	041-366-1500

기업소개

나노종합기술원은 2004년 KAIST 부설 기관으로 설립된 반도체 및 나노기술 분야의 공공 인프라 기관으로, 실리콘 기반 반도체, MEMS 센서, 나노바이오 등 
다양한 기술 플랫폼을 산·학·연에 제공합니다. 세계적 수준의 클린룸과 분석·측정 장비를 공동 활용할 수 있도록 지원하며, 연구성과 실용화, 중소기업 창업
지원, 전문인력 양성에도 힘쓰고 있습니다.

최근에는 8·12인치 반도체 테스트베드, CMOS 소자, 나노바이오센서 등 핵심 공정 기술을 고도화하고 있으며, 첨단패키징과 실리콘 양자소자 등 미래 신기
술 플랫폼 개발도 추진 중입니다. 이와 함께, 수요 맞춤형 교육 프로그램과 국내외 협력을 통해 반도체 산업의 지속 가능한 성장을 지원하고 있습니다.

제품소개

1. 첨단패키징 기반 기술 확보 및 인프라 구축 전략

나노종합기술원(NNFC)은 2.5D/3D 적층 패키징 및 실리콘 인터포저 기반 핵심 기술 확보를 목표로, 첨단 패키징 분야의 공정 플랫폼과 인프라를 단계적으로 
구축하고 있습니다. 2024년부터 2029년까지 과학기술정보통신부 인프라 구축사업을 통해 300mm 기반 개방형 공정 장비를 도입하고, 이를 통해 고집적 패
키징 기술의 실증 및 산업 확산을 추진합니다.

RDL, TSV, Hybrid Bonding 등 후공정 요소기술 확보는 물론, 핵심 공정 기반 장비를 중심으로 공정 신뢰성 검증 및 기술 실증이 가능한 테스트베드를 운영
할 예정입니다. 나노종합기술원은 이를 바탕으로 칩렛·인터포저 기반 모듈 구현과 함께, 관련 소재·부품 기술 개발을 연계 지원하여 국내 패키징 기술 경쟁
력 확보에 기여하고자 합니다.

2. 나노종합기술원 주요 서비스 및 기술 지원

나노종합기술원은 첨단 반도체 공정과 나노기술 연구를 위한 전문 인프라를 갖추고 있으며, 실험실 수준을 넘어 실증 가능한 공정 환경을 제공합니다. 5,000
㎡ 규모의 클린룸(Class 1~10,000), 전용 유틸리티 동, 사무공간 등으로 구성된 독립형 연구시설을 바탕으로, 다양한 공정·측정 장비를 통해 단독 실험뿐 아
니라 연계형 R&D 수행이 가능합니다.

나노종합기술원은 8·12인치 기반 테스트베드, CMOS 공정, MEMS·나노바이오 소자 제작, 정밀 분석·측정 등 다양한 분야의 공정 서비스를 운영 중이며, 수
요자 맞춤형 교육과 직무 역량 향상 프로그램도 함께 제공합니다. 또한, 차세대 소자와 패키징 연계 기술 개발을 위한 실증형 기술 플랫폼도 지속적으로 확장 
중입니다.