에이아이이 | AIE

회사명	에이아이이
부스번호	J114
홈페이지	www.aielec.co.kr/
대표전화	031-647-6849

기업소개

㈜에이아이이는 비접촉 건식 세정 모듈&시스템의 선두 주자로서 대표적으로 Plasma와 USC의 독자적인 기술을 보유하여 반도체디스플레이, 자동차, 2차
전지에서 다양하고 풍부한 실적 및 경험을 보유하고 있습니다. 
별도의 R&D Center을 운용하여 최근에는 Inline Vacuum Plasma와 고성능 USC를 개발하여 고객 분들의 Needs를 채워주고 있으며, ALL IN ONE의 구
축을 위해 자체 개발 Visison System과 FA팀을 추가 운용하여 Module 부터 장비 제작까지 전체적인 SYSTEM을 구축할 수 있는 Solution을 제공합니다.

제품소개

1. 인라인 진공 플라즈마 시스템 (AiVAC Series)

스팩: 10˚ ≥ 접촉각 (형상 상관 없음), Module&System Full Custom 자체 제작. 
특징: U,V,W,Z등의 제품 형상 상관 없이 Plasma 처리. AP Plasma대비 Running Cost 1/1000 감소.
       A~Z까지 자체 기술.

2. 초음파 건식 세정기 (SSL Series)

스펙 : 제거율 99%이상 (3um이상 부유성 {Particle 기준), Custom 제작
특징 : 건식 초음파 실제 구현 (측정 가능), 비산율 0% 확보 (고객사 인증), A-Z까지 자체 기술.