리테크너스 | LETECHNUS

회사명	리테크너스
부스번호	L111
홈페이지	-
대표전화	010-8165-1992

기업소개

(유)리테크너스는 반도체·에너지 소재 전문기업으로, 특허 기반 실리콘 전극(Si-Parts) 및 탄소섬유 다이아몬드 와이어 기술을 통해 수입 의존도가 높은 반
도체 공정 핵심 부품의 국산화를 실현합니다. 독자적 공정 혁신으로 고수율·원가 경쟁력을 동시에 확보하며, 차세대 첨단 패키징 생태계의 신뢰 기반 공급 파
트너로 자리매김하고 있습니다.

제품소개

1. 반도체 공정용 실리콘 부품 (WLJ-SiNx Silicon Electrode)

워터 레이저 젯 정밀 가공과 Si₃N₄ 고온 확산 코팅을 결합한 반도체 식각 공정용 실리콘 전극. 기존 대비 열변형·미세크랙 원천 차단, 가공 시간 30% 단축, 코
팅 경도 28GPa 이상, 홀 가공 편차 ±15 μm 이내. 파티클 오염 제로화로 수율 극대화 및 부품 수명 연장으로 고단화 메모리 양산 라인에 최적화된 실리콘 부
품임

2. 탄소섬유 다이아몬드 와이어 (LTN-CFD)

탄소섬유 코어 기반 다이아몬드 와이어로 SiC·GaN 웨이퍼 절삭에 적합하며, 고인장강도(3,600N/mm² 이상)와 고파괴강도(60N 이상)로 슬라이싱 공정의 
단선 발생을 억제하고 Kerf-Loss를 감소에 효과적인 제품임