케이씨텍 | KCTECH

회사명	케이씨텍
부스번호	F102
홈페이지	www.kctech.co.kr
대표전화	031-670-8000

기업소개

케이씨텍은 CMP 장비와 Slurry 소재를 전문으로 개발·제조하는 첨단 반도체·디스플레이 기술 기업입니다. 2017년 11월 분사를 통해 설립된 KCTECH는 
끊임없는 혁신과 헌신적인 R&D로 고객 맞춤형 솔루션과 차별화된 품질을 제공하며, 가치를 창출하는 가장 신뢰할 수 있는 글로벌 기술 파트너가 되는 것
을 목표로 합니다.

제품소개

1. 화학적 기계적 평탄화 장비 (Ventus S / Ventus D)

1. 생산성 30% ↑
빠른 웨이퍼 이송(터렛, 로봇)
1~4단계 유연한 연마 챔버 구성 가능
유휴 시간 30% ↓

2. 결함 제어 극대화
클리너 6개 챔버(유연한 운용)
플래튼 분리 → 오염 방지

3. 신규 업그레이드 모듈
10z 캐리어, EPC(G4), 컨디셔너(G2)
EPD, 브러시(G2), ICM(패드 버프), DRY(2.1)

2. HBM용 CMP Slurry, Interposer Layer CMP Slurry, Substrate Layer CMP Slurry (Si Slurry, TSV Reveal Slurry, Cu CMP Slurry, Ti CMP Slurry, BF, PID, EMC CMP Slurry)

1. HBM CMP Slurry
Si Thinning High Removal Rate Slurry
Silica Based Slurry,  RR >1.5um/min,Ra <0.5nm
2. TSV Reveal CMP Slurry
Silica Based Slurry , Oxide RR >3,000Å/min
SiN & Cu & Ta/TaN Tunable
3. Hybrid Bonding CMP Slurry
High Oxide Removal Rate & SiCN Stop Performance Slurry
Silica Based Slurry , Oxide RR >3,000Å/min
SiCN Stop, Cu & Ta/TaN Tunable
RDL (Redistribution Layer) Slurry
Ceria Based Slurry, Oxide RR >1um/min