다다 | DADA

회사명	다다
부스번호	J119
홈페이지	www.dadasys.net
대표전화	010-9882-9029

기업소개

당사는 2020년에 설립된 반도체 제조용 기계 제조 전문 기업으로, 각 부서의 전문 인력들이 다양한 노하우와 전문성을 바탕으로 신기술을 개발하고 있으며, 
원가 절감에 강점을 가지고 있는 기업입니다. 고객의 요구를 충족시키기 위해 최신 기술과 연구 개발을 지속하고 있으며, 고객의 성공을 위한 최상의 제품과 
서비스를 제공하기 위해 끊임없이 노력하는 기업입니다.

제품소개

1. Equipment Front End Module

DE5P Seriess

EFEM이란 반도체 라인에서 Cassettes나 Foup 내의 Wafer 또는 Panel을 공정 모듈에 공급하는 공정 장비의 표준 인터페이스 모듈 이다.  PLP 생산 공정 
장비에 적용되며 청정도(FFU) 유지와 설비의 생산에서 요구되는 자재 이송(PTR), 자재 Align, 자재 식별을 대응 할 수 있는 범용 EFEM 이다.

2. Panel Transfer Robot

HR Series

 원통형 좌표계 타입 로봇으로 최대 5D.O.F(주행축 포함시)를 가지며 Arm은 동기 메커니즘으로 직선 운동을 합니다.  Semi의 낮은 Passline에 Long 
stroke를 대응할 수 있습니다.

#요청에 따라 Hand의 재질 및 형상을 대응합니다.