하이델베르크 인스트루먼트 코리아 | HEIDELBERG INSTRUMENT KOREA

회사명	하이델베르크 인스트루먼트 코리아
부스번호	L104
홈페이지	www.heidelberg-instruments.com
대표전화	042-482-1668

기업소개

하이델베르크 인스트루먼트는 high precision laser lithography, maskless aligner, nanofabrication 분야의 global leader입니다. 1984년 설립이후 
40여년간 50개 이상의 국가에 1,500대 이상의 system을 공급함으로써, micro-nanoscale surface structuring에 대한 solution을 제공해왔습니다. 
Compact tabletop tool에서 advanced photomask production equipment까지, 그리고 micro-optics, MEMS, photonics, semiconductors, 
advanced packaging (3D IC), quantum technologies, microfluidics, and 2D Materials 등 미세 패터닝을 요구하는 다양한 응용분야에서 활용되고 
있습니다.

제품소개

1. 마스크리스 얼라이너

MLA300

- DXF, GDS, Gerber 등 변환 파일 만으로도 직접 노광이 가능 
- 최대 12인치 기판 면적 노광 가능 
- 빠른 노광속도 및 정교한 패턴 퀄리티 구현 가능
- Die shift compensation 기능 
- 자동 로딩 시스템 기능 최대 8 port까지 가능

2. 마스크리스 얼라이너

MLA150

- DXF, GDS, Gerber 등 변환 파일 만으로도 직접 노광이 가능 
- High resolution 패턴 구현 
- 최대 8인치 기판 면적 노광 가능 
- 빠른 노광속도 및 정교한 패턴 퀄리티 구현 가능